產(chǎn)品簡介：
FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學用氣體的測量和過程控制而設計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。
產(chǎn)品特點：
專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設計
高靈敏度，應用熱式質量流量計原理可測量*低至8mm/sec的流體流量
無旁通結構，低壓損
傳感器的零點穩(wěn)定度高
經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復使用
自動轉換量程的開關設計提高了測量精度
主機設備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出
技術參數(shù)：
產(chǎn)品 FS1015CL 單位
流量范圍 0~100 / 0~150 SLPM
量程比 100：1
精度 ±(1.5+0.2FS) %
重復性 0.25 %
零點輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 ±0.12 %/ ℃
響應時間 8 ms
工作電壓 5±1% Vdc
輸出方式 線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc
*大流量壓損 1300 Pa
*大工作壓力 0.2 MPa
工作溫度 -10~+55 ℃
儲存溫度 -20~+65 ℃
工作濕度 <95%RH(無結冰、無凝露)
電氣接口 5針插座，AMP 103956-4
機械接口 ISO-15mm
校準方式 空氣，20℃，101.325kPa
重量 21.5 g
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