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PECVD工藝是太陽能電池生產(chǎn)的重要工序,易碎的電池片插片對工藝要求極其嚴(yán)苛,對機(jī)器人精度、速度與可靠性要求極高。史陶比爾TX2-90機(jī)器人采用JCS減速器專利技術(shù)與JCM集成馬達(dá)驅(qū)動系統(tǒng),達(dá)到高速、高動態(tài)精度與高可靠性水平,實現(xiàn)平穩(wěn)柔順的軌跡控制。
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